12月26日，清華大學任天令教授來微電子所進行學術交流并作了題為《高頻聲表面波器件研究》的報告。微電子所科研人員、研究生共30余人參加了交流會。 微電子儀器設備研發中心主任夏洋研究員主持了交流會。
任天令在報告中指出，聲表面波器件因其性能優良、體積小、可集成等優勢，被廣泛應用于通信終端系統，又因其對介質表面的變化非常敏感，也可廣泛應用于傳感檢測領域。由于材料和工藝的限制，傳統的聲表面波器件難以向高頻領域發展。為進一步發揮聲表面波器件在通信技術和傳感檢測領域中的優勢，近年來科研人員從器件結構和工藝等方面系統研究了高頻聲表面波器件的設計及工藝方法，實現了10GHz以上的高頻聲表面波器件的制備。與會人員就相關技術問題與任天令進行了深入交流，現場氣氛活躍，學術氣息濃厚。
交流會后，任天令在夏洋的陪同下參觀了微電子儀器設備研發中心工藝線，就聯合研發聲表面波關鍵儀器設備及成套設備進行了探討。
任天令現為清華大學“長江學者特聘教授”、國家杰出青年基金獲得者、博士生導師，主要研究方向為新型微納電子器件與集成微系統技術等。
交流會現場
綜合信息