近期，根據國家自然科學基金委信息科學部通知，微電子所劉明院士牽頭的“新型微電子器件集成的基礎研究”創新群體順利通過結轉檢查和評審。
“新型微電子器件集成的基礎研究”創新群體于2012年獲批為國家創新研究群體，2013—2015年展開第一期研究，在前瞻性基礎科學研究和部分研究成果轉化應用方面成績顯著。期間完成了新型微電子材料和結構、基于新型微電子器件的電路設計、集成加工技術及應用等三個方面的計劃任務，建立了阻變存儲器（RRAM）的物理模型，提出了RRAM的基礎理論和關鍵技術方法，實現了高性能RRAM器件及其三維集成，在國際上產生了重要影響，多項工作被列入2013ITRS（國際半導體發展路線圖，被認為是微電子技術發展的風向標）。拓展了新型閃存材料和結構體系，提出了可靠性表征新技術、存儲和失效模型，為存儲器產業發展提供了關鍵理論和技術。在企業生產線上開發了新型存儲材料/集成工藝/器件/可靠性/電路等成套技術，相關專利和技術已經轉移到企業。
國家自然科學基金委檢查組于9月28日組織對“新型微電子器件集成的基礎研究”進行了結轉檢查和評審，聽取了關于創新群體的研究背景、工作進展及創新性成果、學術交流和人才培養等方面的工作匯報，審議了群體延期資助的理由，對該群體的研究成果給予肯定，一致建議對該群體給予延期資助，并對后續研究工作提出期望。
國家自然科學基金委員會副主任高文院士、信息科學部常務副主任秦玉文研究員、信息科學部副主任張兆田研究員，微電子所所長葉甜春，副所長劉新宇和吳德馨院士等參加了評審會。
評審會現場
綜合信息