10月14日，微電子所團委、青促會聯合舉辦“崗位大練兵暨第三屆青年技術能手大賽”系列報告會，邀請微電子所研究員、韋亞一作了題為《193nm波長浸沒式光刻技術》的學術報告。微電子所職工、學生共30余人參加了報告會。
韋亞一在報告中介紹了光刻技術的發展歷程，深入講解了193nm波長下的浸沒式曝光技術，包括材料、缺陷控制和分辨率增強技術等，分析了光刻技術當前面臨的發展問題。與會人員就相關技術問題與韋亞一進行了探討和交流。
韋亞一長期從事半導體光刻領域設備、材料和制程研發，主持 “300mm晶圓勻膠顯影設備和光刻工藝研發”等多項國家科技重大專項項目，發表專業文獻60余篇。
報告會現場
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