10月25日，微電子所團委、青促會聯合舉辦了微電子所“崗位大練兵暨第二屆青年技術能手大賽”系列活動學術報告會，邀請微電子所微電子設備技術研究室主任夏洋研究員作《集成電路制造設備》學術報告，100余名青年職工及學生參加了報告會。報告會由所團委書記武錦主持。
夏洋研究員在報告中由淺入深、由表及里地介紹了我國集成電路制造設備研究的進展及特點，并對32nm以下集成電路新原理裝備研究（曝光、刻蝕、薄膜生長、清洗等技術）和科研裝備的產業化等問題進行了分析。報告不僅從專業角度對各種集成電路制造設備的工作原理予以詳解，同時還貫穿以生動的例子講述如何在科研中培養創新能力、思路等問題，使在座青年職工和學生都受益匪淺，從中獲得了科研創新的新靈感。
此次報告會是微電子“崗位大練兵暨第二屆青年技術能手大賽”系列活動之一，所團委還將圍繞技術能手大賽活動舉辦相關培訓和講座，給予廣大青年職工、學生在科研工作和學習上的幫助。
夏洋研究員作報告
報告會現場
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