9月21日,微電子所專家講壇系列之“硅基CMOS集成技術”講座成功舉辦。應微電子所研究生會邀請趙超研究員作了題為《硅基CMOS集成電路技術發展的歷史、現狀和前景展望》的專題講座,來自微電子所各研究室的30余名師生參加了講座。
硅基CMOS集成電路是人類發展史上最精細的加工和生產技術之一,也是現代人類生活中不可或缺的信息技術得以實現的重要基礎。講座中,趙超研究員首先介紹了CMOS集成電路技術發展的歷史與現狀,并指出了各階段集成電路的技術瓶頸與解決方案,而后對未來技術發展可能的路徑進行展望分析。此外,他還介紹了微電子所先導工藝研發中心承擔的“國家科技重大專項22納米先導工藝項目 ”的進展情況。最后,趙超研究員結合自己的人生經歷,給同學們的職業規劃和科研工作提出了指導建議,并就科研寫作等問題與同學們進行了經驗分享。
通過此次講座,與會的同學們對硅基CMOS技術的發展歷程和未來前景有了清晰了解,對微電子所承擔的國家科技任務有了深刻認識,對趙超研究員人生經歷的寶貴經驗得到了實用的學習體會。
趙超研究員現擔任中科院微電子所集成電路先導工藝研發中心主任,1999年獲比利時魯汶大學(KU Leuven)博士學位。曾任歐洲微電子研發中心(IMEC)資深科學家(Senior Scientist),在高K/金屬柵(High-K/metal gate),銅互連(Cu-Interconnection),銅接觸(Cu-Contacts),三維穿硅通孔封裝(3D-TSV)等領域做出過重要貢獻。

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