2016年12月17日，微電子所產(chǎn)學(xué)研融合協(xié)同育人實踐平臺迎來首批課程實訓(xùn)學(xué)員。該批學(xué)員來自于選修中國科學(xué)院大學(xué)《半導(dǎo)體工藝與制造技術(shù)》課程的130多名研一學(xué)生，平臺承載了該課程的集成電路工藝課程實訓(xùn)環(huán)節(jié)，累計6學(xué)時。.

　　微電子所產(chǎn)學(xué)研融合協(xié)同育人實踐平臺設(shè)置的集成電路工藝課程模塊由集成電路先導(dǎo)工藝研發(fā)中心承擔(dān)。先導(dǎo)中心擁有凈化面積約3000平方米的8英寸研發(fā)工藝線。平臺采用工業(yè)標(biāo)配設(shè)備，實行工業(yè)化管理，可為國內(nèi)外企業(yè)提供CMOS集成電路和MEMS器件產(chǎn)業(yè)技術(shù)的開發(fā)和小批量生產(chǎn)。依托平臺開展實訓(xùn)，在加深同學(xué)對課堂所授理論知識的理解的基礎(chǔ)上，可以提供真實的身臨其境的工業(yè)環(huán)境，幫助同學(xué)們實地了解工藝工程師的工作模式、氛圍和意義，激發(fā)同學(xué)對學(xué)業(yè)和個人職業(yè)的認(rèn)同感。

　　本次課程實訓(xùn)分為兩個環(huán)節(jié)。首先由平臺一線工程師提供關(guān)于生產(chǎn)線工作規(guī)程、質(zhì)量控制、沾污控制、安全和超凈間事故應(yīng)急處置措施等內(nèi)容的培訓(xùn)，使同學(xué)們對工藝線建立初步感性認(rèn)識。然后，實訓(xùn)同學(xué)穿上超凈服走進工藝線，實地系統(tǒng)地學(xué)習(xí)集成電路制造的每一個工藝模塊，包括離子注入、擴散、濕法清洗、外延生長、薄膜原子層淀積（ALD）、低壓化學(xué)氣相淀積（LPCVD）、等離子體干法刻蝕、光刻、化學(xué)機械平坦化、濺射與電子束蒸發(fā)、等離子體化學(xué)氣相淀積（PECVD）、快速熱退火（RTP）、薄膜量測及電學(xué)性能測量等，使同學(xué)們將課堂知識與實際工藝聯(lián)系起來，加深了對半導(dǎo)體工藝與制造技術(shù)課程內(nèi)容的理解。

　　實訓(xùn)過程中，同學(xué)們踴躍提問，和實訓(xùn)老師積極互動，在實踐中學(xué)習(xí)，在實訓(xùn)中成長，同學(xué)們對實訓(xùn)效果非常滿意。

　　微電子所產(chǎn)學(xué)研融合協(xié)同育人實踐平臺提供工藝、設(shè)計、測試、封裝、裝備等多模塊全流程實訓(xùn)環(huán)節(jié)。平臺參考集成電路人才工程化培養(yǎng)模式，建立了一套適合集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展的工程化課程體系和實訓(xùn)體系，致力于提高集成電路人才的工程實踐能力。面向中國科學(xué)院大學(xué)各學(xué)院相關(guān)專業(yè)領(lǐng)域及跨學(xué)科專業(yè)領(lǐng)域開放，做好課程實訓(xùn)支撐工作，實現(xiàn)資源共享。同時，該平臺還面向其他高校開放，針對本科、碩士、博士等各層次人才培養(yǎng)均設(shè)置了相應(yīng)的實訓(xùn)課程。面向有志于從事微電子領(lǐng)域工作的人員，不定期舉辦短期專題性培訓(xùn)班。通過設(shè)置多層次專業(yè)化的培養(yǎng)和培訓(xùn)方案，為我國集成電路領(lǐng)域人才培養(yǎng)及交叉復(fù)合型人才培養(yǎng)做出貢獻。

實訓(xùn)老師為同學(xué)們實地講解工藝線