5月19日，由中國科學院微電子研究所于2014年孵化的高端半導體質(zhì)量控制設備公司——深圳中科飛測科技股份有限公司（以下簡稱“中科飛測”，股票代碼“688361”）在上海證券交易所科創(chuàng)板掛牌上市。中科飛測是微電子所科技成果轉(zhuǎn)化的第三家上市公司。 

　　自成立以來，中科飛測始終堅持自主研發(fā)和自主創(chuàng)新的原則，依托多年在光學檢測技術、大數(shù)據(jù)檢測算法和自動化控制軟件等領域的深耕積累和自主創(chuàng)新，實現(xiàn)多款高端半導體質(zhì)量控制設備量產(chǎn)，產(chǎn)品主要包括：無圖形晶圓缺陷檢測設備系列、圖形晶圓缺陷檢測設備系列、三維形貌量測設備系列、薄膜膜厚量測設備系列等產(chǎn)品，已應用于國內(nèi)28nm及以上制程的集成電路制造產(chǎn)線，打破在半導體質(zhì)量控制設備領域國際設備廠商對國內(nèi)市場的長期壟斷局面。與此同時，中科飛測積極承擔了多個國家省部級重大科研項目，助力國內(nèi)集成電路產(chǎn)業(yè)領域關鍵技術攻關與突破。 

　　本次首次發(fā)行A股并上市，標志著中科飛測的發(fā)展迎來了新的起點。下一步，中科飛測將繼續(xù)堅持自主研發(fā)和創(chuàng)新，以高端半導體質(zhì)量控制設備為目標，推動我國檢測和量測設備國產(chǎn)化發(fā)展，為我國集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展做出新的更大貢獻。