9月7日，大連理工大學教授王德君做客微電子所青促會“芯文化”論壇之“青年沙龍”并作精彩報告。本次報告會為線上視頻會議。微電子所職工、研究生及大連理工大學部分學生共40余人在線上遠程參會。高頻高壓中心研究員王盛凱主持會議。
王德君教授介紹了其在SiC MOSFET近界面缺陷與閾值電壓漂移抑制技術方面取得的研究成果。SiC MOSFET是我國信息領域的核心基礎器件之一，具有高功率、高壓、高頻、高溫等優勢，能夠提升裝備系統效率、減少裝置的體積和重量、提高系統可靠性，對于我國軌道交通、新能源汽車、光伏等戰略新興產業發展具有重要意義。王德君教授介紹了降低SiC MOSFET柵氧關鍵工藝界面缺陷、提升器件可靠性和性能的方案，介紹了等離子體氧化工藝和MOS二極管電容制備工藝，講解了不同偏壓溫度應力下的頻帶電壓漂移行為及其機制。在自由交流環節，與會人員就感興趣的話題，分別進行了深入討論，交流會現場氣氛活躍。
王德君現任大連理工大學教授，博士生導師，長期從事SiC半導體器件物理與技術、半導體缺陷物理學、集成電路技術研究。
會議現場
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