加拿大蒙特利爾工學院Yves-Alain Peter教授來微電子所訪問交流

　　5月25日，加拿大蒙特利爾工學院Yves-Alain Peter教授訪問微電子所并作學術報告。微電子所青促會小組組長劉豐滿研究員主持會議。微電子所職工、研究生共30余人參加了會議。 

　　Peter以芯片上光學微腔制作和設計為主題，講解了利用微納加工技術，在硅芯片上設計并制作光學微機電系統的技術方法。該技術可應用于投影系統、光通信、生物醫學成像和望遠鏡系統等。Peter介紹了所在團隊開發的新型光學微腔，該微腔對環境極為敏感，有助于優化傳感器和其他光子器件結構。他還介紹了芯片上的光學傳感器陣列開發、利用光纖和高功率激光器制造微球腔體等技術。與會人員就感興趣的話題，同Peter進行了深入交流。 

　　會后，Pete參觀了集成電路先導工藝研發中心凈化工藝線。 

　　本次報告會由微電子所重點實驗室和青促會小組共同舉辦。