6月30日，北京科技大學材料科學與工程學院納米材料與技術專業的30余名大二學生來到微電子所參觀實習。
同學們首先聽取了微電子儀器設備研發中心副研究員解婧關于集成電路制造工藝與設備的精彩講解。解婧從集成電路的行業背景、微電子工藝及設備的技術、科研型設備產業現狀分析等方面，介紹了集成電路行業的專業知識以及未來的發展前景。她指出，作為技術制造業的最高端，集成電路產業正在不斷改善人類的生活，強大的集成電路裝備正是集成電路發展的重要基石。她介紹了微電子儀器設備研發中心自行研發生產的刻蝕機、等離子體化學沉積設備、原子層沉積設備和物理濺射沉積設備的工作原理、創新技術及其產業應用。報告會后，同學們分別參觀了微納加工平臺、集成電路先導工藝研發平臺，觀看了工作人員的演示操作，對不同類型的微電子設備及操作原理有了一定了解。
納米材料與集成電路發展密不可分。本次活動對于在校學生是一次難得的實踐機會，同學們將所學所見相結合，通過與一線科研人員的交流，加深了對書本知識的理解，有助于專業知識的學習。
報告現場
參觀工藝線
綜合信息