7月13日，香港科技大學Mansun Chan教授來微電子所訪問交流，并作了題為“Carbon Nanotube Enhanced CMOS Interconnect Technology”的學術報告。交流會由劉明院士主持，微電子所科研人員、研究生共40余人參加了交流會。
Mansun Chan在報告中指出，由于電流密度增加和負載減少，碳納米管（CNT）越來越多地應用在先進CMOS互連中。他介紹了如何使用碳納米管實現小通孔填充和多孔層間介質。針對CMOS的兼容問題限制了催化劑材料和加工條件這一情況，Mansun Chan的課題組通過催化劑工程證明，在低溫下鎳可以在金屬或硅化物基上形成碳納米管填充通孔，且接觸電阻很小。使用碳納米管作為垂直對齊的孔模板，可以實現具有強機械強度的介電常數k為1.89的低k介質層。與會人員就碳納米管、MOSFET模型等同Mansun Chan進行了熱烈的學術討論。
Mansun Chan現任香港科技大學電子工程學院教授，研究方向包括納米器件技術、傳感器、SOI技術，高性能芯片，三維電路技術、器件模型和納米生物微機電技術，參與建立的SPICE統一BSIM模型已被大多數美國企業和緊湊模型委員會接受并作為MOSFET模型的第一個工業標準。
學術報告現場
綜合信息