3月15日—17日，全球最大的半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)頂級展覽——2016年國際半導(dǎo)體設(shè)備展在上海舉行。微電子所北京泰龍電子技術(shù)有限公司攜系列新產(chǎn)品參加了展會。 

　　展會上，科技部原副部長曹健林在微電子所所長葉甜春、設(shè)備中心主任夏洋的陪同下親臨泰龍公司展位，參觀了半自動掩膜曝光機(jī)、全自動設(shè)備刻蝕機(jī)、原子層沉積等新產(chǎn)品，詳細(xì)了解了產(chǎn)品性能。泰龍公司與美國硅谷團(tuán)隊(duì)合作研發(fā)的半自動掩膜曝光機(jī)，具有設(shè)計(jì)小巧精致、LED曝光源壽命長、曝光精度高等特點(diǎn)。新型全自動設(shè)備刻蝕機(jī)采用一體化設(shè)計(jì)、自動化工藝，實(shí)現(xiàn)了精確均勻刻蝕。曹健林肯定了微電子所在半導(dǎo)體設(shè)備制造上所取得的成績，希望科研人員加強(qiáng)技術(shù)創(chuàng)新，進(jìn)一步推動國產(chǎn)高端儀器裝備的發(fā)展。 

　　本次展會，微電子所的新產(chǎn)品引起了國內(nèi)外科研人員、客戶的極大興趣，彰顯了國產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備的強(qiáng)大性能和微電子所在設(shè)備制造方面的科研實(shí)力。 

科技部原副部長曹健林（前排左四）在微電子所所長葉甜春（前排左三）、設(shè)備中心主任夏洋（前排右一）陪同下參觀泰龍公司展位