12月26日，清華大學(xué)任天令教授來微電子所進行學(xué)術(shù)交流并作了題為《高頻聲表面波器件研究》的報告。微電子所科研人員、研究生共30余人參加了交流會。 微電子儀器設(shè)備研發(fā)中心主任夏洋研究員主持了交流會。 

　　任天令在報告中指出，聲表面波器件因其性能優(yōu)良、體積小、可集成等優(yōu)勢，被廣泛應(yīng)用于通信終端系統(tǒng)，又因其對介質(zhì)表面的變化非常敏感，也可廣泛應(yīng)用于傳感檢測領(lǐng)域。由于材料和工藝的限制，傳統(tǒng)的聲表面波器件難以向高頻領(lǐng)域發(fā)展。為進一步發(fā)揮聲表面波器件在通信技術(shù)和傳感檢測領(lǐng)域中的優(yōu)勢，近年來科研人員從器件結(jié)構(gòu)和工藝等方面系統(tǒng)研究了高頻聲表面波器件的設(shè)計及工藝方法，實現(xiàn)了10GHz以上的高頻聲表面波器件的制備。與會人員就相關(guān)技術(shù)問題與任天令進行了深入交流，現(xiàn)場氣氛活躍，學(xué)術(shù)氣息濃厚。 

　　交流會后，任天令在夏洋的陪同下參觀了微電子儀器設(shè)備研發(fā)中心工藝線，就聯(lián)合研發(fā)聲表面波關(guān)鍵儀器設(shè)備及成套設(shè)備進行了探討。 

　　任天令現(xiàn)為清華大學(xué)“長江學(xué)者特聘教授”、國家杰出青年基金獲得者、博士生導(dǎo)師，主要研究方向為新型微納電子器件與集成微系統(tǒng)技術(shù)等。 

　　交流會現(xiàn)場