7月2日，北京科技大學(xué)納米材料、納米材料制備等專業(yè)的師生一行30余人到微電子所交流，并重點參觀了微電子設(shè)備技術(shù)研究室。

　　交流會上，微電子設(shè)備技術(shù)研究室夏洋主任向來訪師生們表示熱烈歡迎，簡要介紹了微電子所以及微電子設(shè)備技術(shù)研究室的基本情況。微電子設(shè)備技術(shù)研究室解婧博士向師生們作了題為《集成電路制造工藝與設(shè)備》的報告，講解了儀器對科學(xué)發(fā)展作用、裝備的產(chǎn)生背景，介紹了等離子體浸沒超低能離子注入機、超淺結(jié)激光退火設(shè)備、原子層薄膜沉積系統(tǒng)、動態(tài)薄層化學(xué)處理清洗機等8臺32nm新原理集成電路設(shè)備的工作原理、創(chuàng)新技術(shù)及其產(chǎn)業(yè)應(yīng)用。此外，她還介紹了微電子設(shè)備研究室自行研發(fā)生產(chǎn)的刻蝕機、等離子體化學(xué)沉積設(shè)備（PECVD）、原子層沉積設(shè)備（ALD）和物理濺射沉積設(shè)備。

　　夏洋主任帶領(lǐng)師生們參觀了集成電路芯片制造線和封裝測試線模型、凈化間。參觀中，他用幽默風(fēng)趣、通俗易懂的語言向師生們講解了深奧的微電子學(xué)知識，讓大家走近了微電子科學(xué)、了解了相關(guān)知識。此外，師生們還參觀了集成電路先導(dǎo)工藝研發(fā)中心22nm工藝線。

　　此次活動中，北京科技大學(xué)的同學(xué)們通過參加報告會、聆聽科研成果講解、實地參觀微電子設(shè)備研發(fā)測試平臺、22納米先導(dǎo)工藝線，了解了微電子學(xué)知識，加深了對書本知識的深入理解，將有助于同學(xué)們對納米材料、納米材料制備等專業(yè)知識的學(xué)習(xí)。

　　參觀集成電路芯片制造線和封裝測試線知識 

　　聆聽科研人員對微電子設(shè)備講解