9月21日，微電子所專家講壇系列之“硅基CMOS集成技術(shù)”講座成功舉辦。應(yīng)微電子所研究生會(huì)邀請(qǐng)趙超研究員作了題為《硅基CMOS集成電路技術(shù)發(fā)展的歷史、現(xiàn)狀和前景展望》的專題講座，來(lái)自微電子所各研究室的30余名師生參加了講座。

　　硅基CMOS集成電路是人類發(fā)展史上最精細(xì)的加工和生產(chǎn)技術(shù)之一，也是現(xiàn)代人類生活中不可或缺的信息技術(shù)得以實(shí)現(xiàn)的重要基礎(chǔ)。講座中，趙超研究員首先介紹了CMOS集成電路技術(shù)發(fā)展的歷史與現(xiàn)狀，并指出了各階段集成電路的技術(shù)瓶頸與解決方案，而后對(duì)未來(lái)技術(shù)發(fā)展可能的路徑進(jìn)行展望分析。此外，他還介紹了微電子所先導(dǎo)工藝研發(fā)中心承擔(dān)的“國(guó)家科技重大專項(xiàng)22納米先導(dǎo)工藝項(xiàng)目 ”的進(jìn)展情況。最后，趙超研究員結(jié)合自己的人生經(jīng)歷，給同學(xué)們的職業(yè)規(guī)劃和科研工作提出了指導(dǎo)建議，并就科研寫作等問題與同學(xué)們進(jìn)行了經(jīng)驗(yàn)分享。

　　通過(guò)此次講座，與會(huì)的同學(xué)們對(duì)硅基CMOS技術(shù)的發(fā)展歷程和未來(lái)前景有了清晰了解，對(duì)微電子所承擔(dān)的國(guó)家科技任務(wù)有了深刻認(rèn)識(shí)，對(duì)趙超研究員人生經(jīng)歷的寶貴經(jīng)驗(yàn)得到了實(shí)用的學(xué)習(xí)體會(huì)。

　　趙超研究員現(xiàn)擔(dān)任中科院微電子所集成電路先導(dǎo)工藝研發(fā)中心主任，1999年獲比利時(shí)魯汶大學(xué)（KU Leuven）博士學(xué)位。曾任歐洲微電子研發(fā)中心（IMEC）資深科學(xué)家（Senior Scientist），在高K/金屬柵（High-K/metal gate），銅互連（Cu-Interconnection）,銅接觸（Cu-Contacts），三維穿硅通孔封裝（3D-TSV）等領(lǐng)域做出過(guò)重要貢獻(xiàn)。