4月27日至28日，北京納米科學大型儀器區域中心為促進各成員單位間技術交流與合作，提升納米科學技術的研發和創新能力，由國家納米科學中心牽頭，中科院半導體所和微電子所聯合承辦了區域中心首屆以“半導體工藝技術”為主題的技術交流會。區域中心牽頭單位國家納米科學中心及所屬8個研究所（物理所、化學所、微電子所、高能所、半導體所、電工所、過程所、理化所）的區域中心工作組成員、共享儀器設備操作員和相關工藝人員等五十余人參加了此次技術交流會。
會上，國家納米科學中心的區域中心工作組代表熊玉峰高級工程師介紹了北京納米科學大型儀器區域中心的工作及本次“半導體工藝技術”交流會舉辦的目的和意義，并鼓勵區域中心各成員單位間不斷加強技術交流合作，共同為中科院納米科技發展的儀器設備研發及相關技術平臺的支撐做貢獻。來自北京納米科學大型儀器區域中心成員單位的多位資深技術專家作了與儀器設備共享和相關工藝技術的精彩學術報告。其中，微電子所夏洋研究員的《半導體創新設備研發報告》和陳寶欽研究員的《微光刻與電子束光刻技術》報告在會上都引起了與會代表的興趣并激發了現場的熱烈討論。
參會代表一致認為此次“半導體工藝技術”交流會給大家提供了一個非常好地展示和交流平臺，并對交流會成果予以肯定，同時希望區域中心工作組今后能繼續組織不同研究方向的技術交流活動。
微電子所今后將不斷總結相關經驗，積極和院兄弟單位聯系組織各種技術交流研討會，為科研人員和技術支撐人員創造更加廣泛的交流平臺，全力為研究所實現“創新2020”和“一三五”規劃目標提供強有力的支撐保障。
交流會現場
夏洋研究員作報告
陳寶欽研究員作報告
綜合信息