4月11日，中科院EDA中心在京舉辦Synopsys Sentaurus TCAD技術(shù)研討會，并邀請Synopsys高級市場部經(jīng)理John Wang擔(dān)任主講。中科院在京科研院所的40余名科研人員參加了會議。

　　Sentaurus TCAD提供了一整套完整的、行業(yè)領(lǐng)先的工藝與器件仿真及分析工具組件，適用于研發(fā)高端CMOS器件、功率器件、存儲器件、光電子器件、模擬/射頻（RF）、激光器件、太陽能電池及其制造工藝。該工具與Raphael一起使用可以有效地支持器件和互連線的建模和參數(shù)提取，并能給出優(yōu)化芯片性能所需的關(guān)鍵寄生信息。

　　研討會以當(dāng)今世界半導(dǎo)體工業(yè)背景、發(fā)展趨勢、經(jīng)濟(jì)脈搏等總體概覽為開端，John Wang經(jīng)理簡要介紹了包括阻抗場法、單次仿真擾動、圖形庫組合等技術(shù)在內(nèi)的Sentaurus TCAD工具的最新關(guān)鍵技術(shù)研究成果及其在相關(guān)器件和工藝研發(fā)方面的應(yīng)用，具體介紹了F-2011.09版本產(chǎn)品的支持復(fù)雜結(jié)構(gòu)器件的新功能、采用新算法帶來的計算性能大幅提升、對波動仿真和分析能力的提升等優(yōu)勢，以及工具在Tri-Gate SRAM器件和工藝研發(fā)方面的實際應(yīng)用情況。會上，雙方就Synopsys公司在TCAD上的技術(shù)優(yōu)勢、未來發(fā)展趨勢和產(chǎn)品發(fā)展路線圖等問題進(jìn)行了深入的交流和探討。

　　本次研討會是中科院EDA中心聯(lián)合Synopsys服務(wù)客戶、推進(jìn)國家相關(guān)重大專項順利實施高端器件和工藝研發(fā)的重要活動，同時也有益于布局未來國家重大專項相關(guān)任務(wù)特別是14納米器件和工藝的研發(fā)任務(wù)。

研討會現(xiàn)場