“IC創(chuàng)新獎(jiǎng)”由中國(guó)集成電路創(chuàng)新聯(lián)盟（大聯(lián)盟）于2018年創(chuàng)立，旨在重點(diǎn)鼓勵(lì)集成電路技術(shù)創(chuàng)新、成果產(chǎn)業(yè)化、產(chǎn)業(yè)鏈上下游合作，以體現(xiàn)大聯(lián)盟倡導(dǎo)全產(chǎn)業(yè)鏈合作的理念。獎(jiǎng)項(xiàng)由來(lái)自國(guó)內(nèi)集成電路全產(chǎn)業(yè)鏈各領(lǐng)域的領(lǐng)軍人才、戰(zhàn)略科學(xué)家以及金融專家等組成的提名委員會(huì)，采取“委員獨(dú)立”提名制，并結(jié)合頂級(jí)權(quán)威專家“獨(dú)立評(píng)審”產(chǎn)生。獎(jiǎng)項(xiàng)分為技術(shù)創(chuàng)新獎(jiǎng)、成果產(chǎn)業(yè)化獎(jiǎng)、產(chǎn)業(yè)鏈合作獎(jiǎng)和產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新突出貢獻(xiàn)獎(jiǎng)。IC創(chuàng)新獎(jiǎng)評(píng)選活動(dòng)已成功舉辦四屆，共有全國(guó)380余家單位的近600個(gè)優(yōu)秀項(xiàng)目（產(chǎn)品、技術(shù)、合作團(tuán)隊(duì)或個(gè)人等）參與評(píng)選，累計(jì)頒發(fā)獎(jiǎng)項(xiàng)80余項(xiàng)。其中，第四屆“IC創(chuàng)新獎(jiǎng)”征集活動(dòng)面向全行業(yè)深度挖掘優(yōu)秀項(xiàng)目，共征集126家單位的159個(gè)項(xiàng)目，最終共有16個(gè)項(xiàng)目和4位個(gè)人獲獎(jiǎng)。第四屆“IC創(chuàng)新獎(jiǎng)”于2021年3月20日在大聯(lián)盟組織召開(kāi)的“2021集成電路產(chǎn)業(yè)鏈協(xié)同創(chuàng)新發(fā)展交流會(huì)”上正式頒布。微電子所參股企業(yè)深圳中科飛測(cè)科技股份有限公司的“SPRUCE系列無(wú)圖形晶圓表面缺陷光學(xué)檢測(cè)設(shè)備”項(xiàng)目從眾多項(xiàng)目中脫穎而出，最終斬獲“IC創(chuàng)新獎(jiǎng)”的技術(shù)創(chuàng)新獎(jiǎng)。 

　　深圳中科飛測(cè)科技股份有限公司成立于2014年12月31日，總部位于深圳，面積7000平方米，其中有1250平方米的萬(wàn)級(jí)潔凈廠房和200平方米的光學(xué)實(shí)驗(yàn)室。在北京和深圳均設(shè)立研發(fā)中心，并在全國(guó)各地設(shè)有產(chǎn)品應(yīng)用服務(wù)中心。最具代表的產(chǎn)品和服務(wù)有表面缺陷檢測(cè)系統(tǒng)SPRUCE系列，三維形貌量測(cè)系統(tǒng)SKYVERSE CYPRESS系列，智能視覺(jué)缺陷檢測(cè)系統(tǒng)BIRCH系列，3C電子行業(yè)精密加工玻璃手機(jī)外殼檢測(cè)系統(tǒng) TOTARA系列。 

　　在國(guó)家科技重大專項(xiàng)的大力支持下，中科飛測(cè)研發(fā)團(tuán)隊(duì)經(jīng)過(guò)多年的不懈努力，成功自主研發(fā)出應(yīng)用于90-28nm節(jié)點(diǎn)的SPRUCE系列無(wú)圖形晶圓表面缺陷光學(xué)檢測(cè)設(shè)備。目前產(chǎn)品銷量突破50臺(tái)套，客戶群體覆蓋國(guó)內(nèi)數(shù)十家主要半導(dǎo)體廠商，并成功銷往中國(guó)臺(tái)灣地區(qū)。SPRUCE系列產(chǎn)品的成功，一舉打破了國(guó)外供應(yīng)商的長(zhǎng)期壟斷，實(shí)現(xiàn)了該類設(shè)備的國(guó)產(chǎn)化與產(chǎn)業(yè)化，必將助力國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體制造產(chǎn)業(yè)及檢測(cè)設(shè)備的崛起與騰飛。 

SPRUCE系列設(shè)備