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當前位置 首頁 人才隊伍
  • 姓名： 吳曉斌
  • 性別： 男
  • 職稱： 研究員
  • 職務： 副主任
  • 學歷： 博士
  • 電話： 
  • 傳真： 
  • 電子郵件： wuxiaobin@ime.ac.cn
  • 所屬部門： 光電技術研發(fā)中心
  • 通訊地址： 北京市朝陽區(qū)北土城西路3號

    簡　　歷：

  • 教育背景

    1996.09-2000.07，浙江大學光電信息工程系，光學工程，工學學士 

    2001.09-2009.01，清華大學精密儀器系，光學工程，碩博連讀，工學博士 

    工作簡歷 

    2009.05-2018.10，中國科學院光電研究院，投影光學室，助理研究員、副研究員、研究員 

    2018.11-至今，  中國科學院微電子研究所，光電技術研發(fā)中心，研究員 

    社會任職：

  • 1.中國計量測試學會真空計量專業(yè)委員會副主任委員 

    2.全國真空技術標準化技術委員會委員 

    3.中國真空學會質譜分析與檢漏專委會委員 

    4.中國真空學會真空冶金專業(yè)委員會委員 

    5.《真空與低溫》編委

    研究方向：

  • 極紫外光刻、光學工程、光學檢測、精密儀器

    承擔科研項目情況：

  • 1.國家科技重大專項“EUV基礎共性技術研究”，主持人，在研 

    2.國家科技重大專項“EVUL動態(tài)真空與熱環(huán)境技術研究”，主持人，在研 

    3.國家科技重大專項“高NA投影曝光光學系統及其產業(yè)化發(fā)展研究”，主持人，結題 

    4.國家科技重大專項“20W 4kHz ArF曝光光源研發(fā)”，參與，結題

    代表論著：

  • 1.   Y. Luo, X. Wu, K. Wang, Y. Wang. Comparative study on surface influence to outgassing performance of aluminum alloy. Applied Surface Science. 2020, 502(144166):1-8.  

    2.   Min Lei, Xiaobin Wu, Wei Zhang, Xiaoping Li, Xuedong Chen，The implementation of subsonic boundary conditions for the direct simulation Monte Carlo method in dsmcFoam， Computers and Fluids, 156 (2017) 209–219. 

    3.   Y. Luo, X. Wu, K. Wang, Y. Wang. Comparative Study on the Outgassing Rate of Materials using Different Methods. MAPAN-Journal of Metrology Society of India. 2016, 31(1):61-68.  

    4.   羅艷,王魁波,張羅莎,吳曉斌,王宇. 聚合物的放氣分率與放氣模型研究. 真空科學與技術學報.2015,35(9):1100-1104.  

    5.   羅艷,王魁波,吳曉斌. 極紫外光刻機真空材料放氣分率的單質譜測試方法研究. 質譜學報.2018,39(4):392-398.  

    6.   Xiaobin Wu, Yan Luo, Kuibo Wang. Obtaining and Maintaining of Clean High Vacuum on the Material Outgassing Test System. KEM-Key Engineering Materials. 2017,723:111-118.  

    7.   羅艷,王魁波,吳曉斌,王宇. 高精度真空材料放氣測試研究. 真空科學與技術學報. 2016,36(3):251-257.  

    8.   羅艷，吳曉斌，周翊，王宇. 準分子激光與SiC 陶瓷的相互作用研究. 激光與光電子學進展.2016，53(121403):1-6.  

    9.   羅艷,王魁波,吳曉斌,王宇. 超高精度質譜檢出限的測試技術研究. 真空科學與技術學報.2018,38(11):938-943.  

    10.  羅艷，吳曉斌，王魁波. 高精度四極質譜檢測限測試和影響因素分析. 分析測試技術與儀器. 2019,(25)4:211-218.

    專利申請：

  • 申請國家發(fā)明專利40余項，授權20余項；授權實用新型專項30余項；申請PCT國際專利4項，部分專利如下： 

    1.     多元合金薄膜的制備裝置及其制備方法.國際. PCT/CN2017/116599.  

    2.     多元合金薄膜的制備裝置及其制備方法. 中國. ZL201711125054.0.  

    3.     一種聚合物輻照損傷測試裝置. 中國. ZL201520877033.4. 

    4.     一種材料輻射致放氣的在線測試裝置.中國. ZL201621345502.9. 

    5.     一種高精度質譜檢出限的檢測裝置. 中國.ZL201820946643.9. 

    6.     一種材料輻射致氣體滲透的測試裝置. 中國.ZL201621138020.6. 

    7.     一種材料分壓放氣率測試裝置及方法.中國. ZL201510427893.2. 

    8.     一種分壓漏率測量裝置及方法. 中國. ZL201610473484.0. 

    9.     一種使用電場降低碎屑的方法、裝置和EUV光源系統. 中國. ZL201310538366.X. 

    10.    一種用于激光光源的液態(tài)金屬靶產生裝置. 中國. ZL 201310182436.2. 

    11.    一種極紫外光源性能參數的測量系統. 中國. ZL201510772679.0. 

    12.    一種可在線測量能量的極紫外輻照損傷測試系統. 中國. ZL201610548432.5. 

    13.    一種反射式光學元件溫控系統. 中國.ZL201310665292.6. 

    14.    真空密封件分壓漏率測量系統及其測量方法. 中國.ZL201310275992.4. 

    15.    用于極紫外光刻板級電子學系統的真空密封裝置.中國. ZL201620189119.2 

    16.    一種用于極紫外光刻板級電子學系統的散熱裝置. 中國. ZL201620185955.3. 

    獲獎及榮譽：