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當(dāng)前位置 首頁(yè) 人才隊(duì)伍
  • 姓名: 宗明成
  • 性別: 男
  • 職稱: 研究員
  • 職務(wù): 
  • 學(xué)歷: 博士
  • 電話: 010-82995870
  • 傳真: 
  • 電子郵件: zongmingcheng@ime.ac.cn
  • 所屬部門: 光刻技術(shù)總體部
  • 通訊地址: 北京市朝陽區(qū)北土城西路3號(hào)

    簡(jiǎn)  歷:

  • 教育背景

    1989年畢業(yè)于清華大學(xué)物理系,獲理學(xué)(光學(xué))博士學(xué)位 ?

    1986年畢業(yè)于東南大學(xué)電子工程系,獲工學(xué)碩士學(xué)位 ?

    1983年畢業(yè)于東南大學(xué)電子工程系,獲工學(xué)學(xué)士學(xué)位?

    工作簡(jiǎn)歷?

    2011.04 –至今:中國(guó)科學(xué)院微電子研究所,研究員、博士生導(dǎo)師,國(guó)家科技重大專項(xiàng)“極大規(guī)模集成電路制造裝備及成套工藝”總體組特聘專家。?

    2009.05 2011.03:荷蘭皇家飛利浦照明研發(fā)中心(中國(guó))總監(jiān)。 ?

    2000.01 2009.05:荷蘭ASML光刻機(jī)公司研發(fā)經(jīng)理、高級(jí)工程師。 ?

    1999.02 1999.12:荷蘭國(guó)家原子分子研究所 (AMOLF)研究員。 ?

    1998.02 1999.01:荷蘭代爾夫特(Delft)技術(shù)大學(xué)研究員。 ?

    1990.01 1998.01:北京交通大學(xué)教授,系主任等。?

    社會(huì)任職:

    研究方向:

  • 先進(jìn)光刻技術(shù)、光學(xué)工程、精密檢測(cè)技術(shù)

    承擔(dān)科研項(xiàng)目情況:

  • 作為課題負(fù)責(zé)人或首席科學(xué)家先后承擔(dān)5項(xiàng)國(guó)家科技重大專項(xiàng)研究任務(wù)。

    代表論著:

  • 發(fā)表約30篇學(xué)術(shù)論文。

    專利申請(qǐng):

  • 中國(guó)、美國(guó)發(fā)明專利約20項(xiàng)。

    獲獎(jiǎng)及榮譽(yù):