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當(dāng)前位置 首頁 人才隊伍
  • 姓名： 丁敏俠
  • 性別： 女
  • 職稱： 副研究員
  • 職務(wù)： 
  • 學(xué)歷： 博士
  • 電話： 82995872
  • 傳真： 
  • 電子郵件： dingminxia@ime.ac.cn
  • 所屬部門： 光刻技術(shù)總體部
  • 通訊地址： 北京市朝陽區(qū)北土城西路3號

    簡　　歷：

  • 教育背景：

     

    2001.09--2005.07  東南大學(xué)，動力工程系熱能與動力工程專業(yè)，本科 

    2009.09--2010.09  法國巴黎第十一大學(xué)，機械物理系，碩士研究生一年級 

    2010.09--2011.10  法國雷恩第一大學(xué)，科學(xué)計算和建模專業(yè)，碩士研究生二年級  

    2011.10--2015.05  法國雷恩第一大學(xué)化學(xué)研究所，化學(xué)專業(yè)博士研究生 

    工作背景： 

    2005.07--2008.05  河北省電力勘測設(shè)計研究院，助理工程師 

    2017.05--2018.12  北京辰安科技股份有限公司，工程師 

    2019.01--至今   中科院微電子研究所，副研究員 

    社會任職：

    研究方向：

  • 建模與數(shù)據(jù)處理，光刻技術(shù)，分子物理，納米材料

    承擔(dān)科研項目情況：

  • 作為研究骨干參與多個重大專項的科研任務(wù)。

    代表論著：

  • 發(fā)表期刊和會議論文10余篇，代表作如下： 

    [1] Jing LI, Minxia DING, Qingyang ZHANG, Shidong ZHU. Investigation of the relationship between wafer deformation and alignment error. Poster. 2019. 

    [2] M. Ding, A. Szymczyk, A. Ghoufi. Hydration of a polyamide reverse-osmosis membrane. Journal of Membrane Science. Volume 501, 2016, Pages 248-253. 

    [3] M. Ding, A. Szymczyk, A. Ghoufi. On the structure and rejection of ions by a polyamide membrane in pressure-driven molecular dynamics simulations. Desalination. Volume 368, 2015, Pages 76-80. 

    [4] M. Ding, A. Ghoufi, A. Szymczyk. Molecular simulations of polyamide reverse osmosis membranes. Desalination. Volume 343, 16 June 2014, Pages 48-53. 

    [5] M. Ding, A. Szymczyk, F. Goujon, A. Soldera, A. Ghoufi. Structure and dynamics of water confined in a polyamide reverse-osmosis membrane: A molecular-simulation study. Journal of Membrane Science.   Volume 458, 15 May 2014, Pages 236-244.

    專利申請：

  • 代表性專利： 

    [1]調(diào)整吸盤吸力分布改善硅片翹曲的方法，發(fā)明，專利號：CN201910908045.1 

    [2]一種同步控制方法以及系統(tǒng)，發(fā)明，專利號：CN201911212668.1 

    [3]基于OpenVPX架構(gòu)的測控系統(tǒng)同步控制系統(tǒng)，發(fā)明，專利號：CN201911211916.0 

    [4]硅片對準(zhǔn)標(biāo)記布局的優(yōu)化方法，發(fā)明，專利號：CN201911178873.0 

    [5]對焦傳感器的校準(zhǔn)方法，發(fā)明，專利號：CN201911212027.6

    獲獎及榮譽：