教育背景
1995.9-1999.7南京理工大學(xué) 自動控制專業(yè) 本科
2003.9-2006.7中國地質(zhì)大學(xué)(北京)通訊與信息技術(shù) 研究生
工作簡歷
2006.7-至今 中國科學(xué)院微電子研究所 從事射頻電源、自動匹配器、勻膠機等設(shè)備的研發(fā)工作
電子電路設(shè)計 設(shè)備研發(fā)
1、院功能開發(fā)項目,Y7SH018001,用于高精度納米薄膜制備的高速高穩(wěn)定旋涂設(shè)備功能升級,30萬元,在研,主持
2、所長基金項目,08SF168001,50萬,自動匹配器研發(fā)滾動支持,已完成,主持
3、所長基金項目,06SB063001,10萬,自動匹配器研發(fā),已完成,主持
一種用于匹配器設(shè)備的空氣電容結(jié)構(gòu) 201310029910.8
人才隊伍