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教育背景

美國佛羅里達國際大學(xué)電子工程系，摩托羅拉納米工程中心，光學(xué)博士。（2009年）

中國科學(xué)技術(shù)大學(xué)物理系，物理學(xué)學(xué)士。（2003年）

工作簡歷

中國科學(xué)院微電子研究所微電子儀器設(shè)備研發(fā)中心, 副研究員。（2010年-）

專注于納米尺度物質(zhì)的結(jié)構(gòu)測量及物性表征方法研究，及相關(guān)儀器的系統(tǒng)級研發(fā)。

科研方向

1）新型掃描探針測量。

2）超寬頻帶偏振光譜測量

3）光學(xué)散射表征技術(shù)。

4）光學(xué)干涉及三維結(jié)構(gòu)測量。

5）新型納米光學(xué)器件。

應(yīng)用方向

1）超衍射空間分辨率的物性表征。

2）微納結(jié)構(gòu)三維形貌測量（周期性結(jié)構(gòu)/非周期性結(jié)構(gòu)）。

3）微納薄膜結(jié)構(gòu)測量和物性表征。

4）晶圓表面缺陷及污染的檢測。