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當(dāng)前位置 首頁 人才隊伍
  • 姓名: 高建峰
  • 性別: 男
  • 職稱: 副研究員
  • 職務(wù): 
  • 學(xué)歷: 
  • 電話: 010-82995784
  • 傳真: 010-82995783
  • 電子郵件: gaojianfeng@ime.ac.cn
  • 所屬部門: 集成電路先導(dǎo)工藝研發(fā)中心
  • 通訊地址: 集成電路先導(dǎo)工藝研發(fā)中心

    簡  歷:

  • 教育背景

    2002/9 --- 2005/4 北京科技大學(xué) 材料學(xué) 碩士

    1998/9 ---2002/7 中國礦業(yè)大學(xué) 材料科學(xué)與工程 本科

    工作簡歷

    2012.05 --- 至今 中國科學(xué)院微電子研究所

    2005.04 --- 2012.4 中芯國際集成電路制造(北京)有限公司

    社會任職:

    研究方向:

  • 先進(jìn)IC制造中新材料和新結(jié)構(gòu)器件的薄膜工藝研發(fā)

    承擔(dān)科研項目情況:

  • 國家科技重大專項,極大規(guī)模集成電路裝備及成套工藝子課題“22 nm平面器件

    國家科技重大專項,極大規(guī)模集成電路裝備及成套工藝子課題“16/14nm FinFET器件

    國家科技重大專項的子課題:面向45-22nm 銅互連的PVD設(shè)備的工藝模塊開發(fā)

    國家重大科技專項, ET-SOI器件與關(guān)鍵工藝研究

    中國科學(xué)院項目:功能器件晶圓級檢測與性能表征

    此外承擔(dān)多項企業(yè)重大橫向開發(fā)項目

    代表論著:

    專利申請:

    獲獎及榮譽(yù):

  • 2013年度微電子研究所先進(jìn)工作者

    2015年度微電子研究所優(yōu)秀員工

    2016年度微電子研究所優(yōu)秀員工