所況介紹
中國科學(xué)院微電子研究所（以下簡稱“微電子所” ）成立于1958年，是我國微電子科學(xué)技術(shù)與集成電路領(lǐng)域的重要研發(fā)機(jī)構(gòu)。微電子所是國務(wù)院學(xué)位委員會(huì)批準(zhǔn)的博士、碩士學(xué)位授予權(quán)單位之一，是中國科學(xué)院大學(xué)集成電路學(xué)院主承辦單位，現(xiàn)設(shè)有集成電路科學(xué)與工程、電子科學(xué)...
所長、黨委書記：戴博偉 黨委副書記、紀(jì)委書記：謝光鋒 副所長：曹立強(qiáng) 副所長：李泠 副所長：羅軍
機(jī)構(gòu)設(shè)置
科研工作
人才隊(duì)伍
研究生教育
黨建與創(chuàng)新文化
科學(xué)普及
成果轉(zhuǎn)化與產(chǎn)業(yè)化
信息公開
教育背景
1997-2001 山東大學(xué) 通信與信息系統(tǒng) 理學(xué)學(xué)士
2002-2007 中國科學(xué)院微電子研究所 微電子學(xué)與固體電子學(xué)工學(xué)博士
工作簡歷
2007.07至今，在中國科學(xué)院微電子研究所工作，現(xiàn)為研究員、博士生導(dǎo)師、微電子儀器設(shè)備研發(fā)中心主任
新原理納米加工工藝與裝備、MEMS制造與傳感技術(shù)、智能裝備
人才隊(duì)伍