1964年4月出生于江西豐城，微電子科學(xué)與技術(shù)專家。1985年本科畢業(yè)于合肥工業(yè)大學(xué)，1988年獲該校碩士學(xué)位，1998年于北京航空航天大學(xué)獲博士學(xué)位。2000年被聘為中國科學(xué)院微電子研究所研究員和納米加工與新器件集成技術(shù)研究室主任。2008年獲得國家杰出青年基金資助。現(xiàn)任中國科學(xué)院微電子研究所研究員、博士生導(dǎo)師。2015年當(dāng)選為中國科學(xué)院院士。
任中國真空學(xué)會第六屆理事、中國材料學(xué)會青年委員會常務(wù)理事、同時擔(dān)任中國科學(xué)院半導(dǎo)體研究所半導(dǎo)體材料重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室學(xué)術(shù)委員會委員和中國科學(xué)院物理所微加工實(shí)驗(yàn)室學(xué)術(shù)委員會副主任。
2004年獲國務(wù)院政府津貼；
國家技術(shù)發(fā)明二等獎3項(xiàng)（2013年（排名第1）、2007年（排名第2）、2005年（排名第4））；
國家科技進(jìn)步二等獎1項(xiàng)（2009年（排名第4））；
中國電子學(xué)會科學(xué)技術(shù)獎自然科學(xué)類一等獎（2015年（排名第1））；
北京市科學(xué)技術(shù)一等獎2項(xiàng)（2010年（排名第1）、2003年（排名第10））；
北京市科學(xué)技術(shù)二等獎2項(xiàng)（2014年（排名第1）、2002年（排名第3））；
中國真空科技成就獎（2012年）；
中科院杰出成就獎（2014年（排名第8））。
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