1986年9月-1992年2月,中國科學(xué)院微電子中心,助理工程師
1992年2月-1993年7月,日本理化學(xué)研究所,訪問學(xué)者
1993年7月-2001年5月,中國科學(xué)院微電子中心(工程師、副研究員、研究員,課題組長、研究室副主任)
2001年6月-2007年7月,中國科學(xué)院微電子研究所,副所長
2007年7月 - 2020年9月,中國科學(xué)院微電子研究所,所長,中國科學(xué)院EDA中心,常務(wù)副理事長
長期從事集成電路制造技術(shù)、新型器件及微細(xì)加工技術(shù)領(lǐng)域的研究工作,作為課題負(fù)責(zé)人和核心骨干完成了國家“七五”至“十五”攻關(guān)、攀登計(jì)劃、863、973、中科院知識(shí)創(chuàng)新工程等十幾項(xiàng)科研課題的研究任務(wù),在深亞微米及納米加工技術(shù)、超高頻化合物半導(dǎo)體器件研究、新型器件等方面取得多項(xiàng)具有國內(nèi)領(lǐng)先或國際先進(jìn)水平的科研成果。
獲得國家科技進(jìn)步二等獎(jiǎng)1項(xiàng)
中國科學(xué)院科技進(jìn)步二等獎(jiǎng)2項(xiàng)
北京市科技進(jìn)步一等獎(jiǎng)2項(xiàng)
榮獲得國家“八五”科技攻關(guān)先進(jìn)個(gè)人
中國科學(xué)院青年科學(xué)家獎(jiǎng)和優(yōu)秀青年稱號(hào)
人才隊(duì)伍