6月8日至9日，國家自然科學(xué)基金國家重大科研儀器研制項目“二維電子材料及納米量子器件的研究和原位分析儀器”驗收會在微電子所召開。基金委副主任陸建華，基金委信息科學(xué)部主任郝躍、常務(wù)副主任張兆田、副主任何杰，中科院副院長李樹深，條財局副局長曹凝，微電子所黨委書記、副所長（主持工作）戴博偉，微電子所副所長王文武，黨委副書記、紀(jì)委書記趙志剛，中國科學(xué)院江風(fēng)益院士、吳德馨院士、劉明院士、張躍院士、彭練矛院士及項目組成員共80余人參加會議。 

　　該項目由微電子所牽頭承擔(dān)。項目組提出并發(fā)明了電場調(diào)控原子層沉積技術(shù)（E-PEALD），率先實現(xiàn)了RHEED原位實時原子層沉積材料的動態(tài)測量與分析，研發(fā)出晶圓級MoS2二維材料，制備了MoS2晶體管及邏輯電路，完成了低溫石墨烯制備及納米修飾，實現(xiàn)了國際領(lǐng)先水平的碳基彈道輸運晶體管。為北方華創(chuàng)公司提供ALD原理及關(guān)鍵腔室設(shè)計和制備，為解決集成電路高K介質(zhì)制備等難題提供了關(guān)鍵技術(shù)支撐；相關(guān)技術(shù)形成了ALD品牌產(chǎn)品，銷售200余臺，支持了中微子探測等多項關(guān)鍵重大科學(xué)研究；促進了北京碳基集成電路研究院建設(shè)。 

　　驗收專家組由22位技術(shù)、財務(wù)、檔案專家組成，江風(fēng)益院士任組長。驗收會上，專家組聽取了項目負責(zé)人夏洋研究員的結(jié)題匯報、監(jiān)理組監(jiān)理情況匯報、儀器測試報告、財務(wù)驗收意見、檔案驗收意見，就相關(guān)問題進行了質(zhì)詢和討論，現(xiàn)場考察了研制儀器設(shè)備運行情況。 

　　驗收專家組一致認(rèn)為，該項目完成了資助項目計劃書規(guī)定的全部任務(wù)，實現(xiàn)了儀器的全部技術(shù)指標(biāo)，達到了預(yù)期目標(biāo)；研制工作取得了豐碩的成果，攻克了電場調(diào)控原子層沉積二維材料生長、器件制備和原位分析等關(guān)鍵技術(shù)，碳基材料、MoS2等二維材料及器件指標(biāo)達到國際領(lǐng)先水平；儀器整機達到國際先進水平，具有獨創(chuàng)性。 

基金委副主任陸建華講話

項目負責(zé)人夏洋做總結(jié)報告

專家組現(xiàn)場考察

與會人員合影