日前,中科院EDA中心陳嵐研究員帶領(lǐng)的納米芯片設(shè)計(jì)方法學(xué)研究小組研發(fā)的納米可制造性設(shè)計(jì)與分析技術(shù)(DFM)研究成果開始為國內(nèi)企業(yè)提供服務(wù)。
研究成果中,65/45納米DFM工具已經(jīng)交付中芯國際20多個(gè)License,并為中芯國際商業(yè)客戶提供DFM檢查。同時(shí),中科院EDA中心與中芯國際、中興微電子等已簽訂DFM技術(shù)服務(wù)合同,與展訊、聯(lián)芯、新岸線正在簽訂服務(wù)合同中,與華為海思的DFM產(chǎn)業(yè)服務(wù)合同計(jì)劃于2013年10月啟動(dòng)簽訂。該工具用于對(duì)納米級(jí)芯片加工結(jié)果與芯片版圖相關(guān)性預(yù)測,指導(dǎo)半導(dǎo)體加工工藝開發(fā)及芯片設(shè)計(jì)精確時(shí)序分析和加工風(fēng)險(xiǎn)的預(yù)測及優(yōu)化。
中科院EDA中心在此項(xiàng)研究工作中積累的自主知識(shí)產(chǎn)權(quán),不僅打破了國外EDA公司的行業(yè)壟斷,更在DFM領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)從追趕戰(zhàn)略向創(chuàng)新跨越戰(zhàn)略轉(zhuǎn)型發(fā)揮了推動(dòng)作用。同時(shí),該技術(shù)也將促進(jìn)商業(yè)化服務(wù)推廣應(yīng)用,預(yù)計(jì)能為所服務(wù)的企業(yè)節(jié)約上千萬美金的高端設(shè)計(jì)工具費(fèi)用,幫助企業(yè)提升約5%的成品率,提高其代工服務(wù)能力和市場競爭力。

45納米DFM平臺(tái)
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