據(jù)09年度國家自然基金項目情況通報，微電子所在2008年的國家自然科學基金項目的結題評審中，共有5個面上項目收到評估結果。其中徐秋霞研究員的“亞50納米金屬柵體硅多柵CMOS器件及關鍵技術研究”被評為“特優(yōu)”。王叢舜副研究員的“基于射頻單電子晶體管的微納機械器件研究”和李俊峰研究員的“SOI射頻SOC的集成器件及工藝基礎研究”被評為“優(yōu)”。仇玉林研究員的“RF CMOS 無線接收機新結構研究”和陳大鵬研究員的“懸臂梁微尖端陣列器件加工及應用技術研究”被評為“良”。　　　　　　　　　　

　　由于國家自然科學基金項目評審一貫注重“績效掛鉤”原則，強調(diào)資助的連續(xù)性和績效性，項目主持人在上一個項目結題時被評為“特優(yōu)”，下一次申請項目時會受到一定的獎勵，例如把評級上提一級，或加大資助強度。所以此次徐秋霞研究員的項目結題評估取得的好成績，也是對其科研業(yè)務水平的充分肯定，更是其高度重視項目的研究質(zhì)量、重視項目結題工作的努力結果。

　　另外，在2009年微電子所申請的國家自然基金項目中，共有7個項目獲得了資助，其中韓鄭生研究員獲得了120萬專項基金資助。

　　兩年來微電子所在國家自然基金項目立項上不斷實現(xiàn)歷史性突破，爭取到了自然基金重大項目，充分證明了微電子所的科研實力正在不斷的穩(wěn)步發(fā)展，這也對進一步促進微電子所科研水平向更深層面發(fā)展起到積極的推動作用。