3月17日，國家重大科研儀器研制項(xiàng)目“二維電子材料及納米量子器件的研究和原位分析儀器”啟動(dòng)會(huì)在微電子所召開。國家自然科學(xué)基金委副主任高文，信息學(xué)部主任柴天佑院士，項(xiàng)目專家組組長、中科院半導(dǎo)體所所長李樹深院士，中科院條財(cái)局副局長曹凝，中科院微電子所副所長劉新宇，中科院微電子所吳德馨院士出席會(huì)議。國家自然科學(xué)基金委相關(guān)領(lǐng)導(dǎo)、項(xiàng)目專家組成員、項(xiàng)目科研及管理人員共60余人參加了會(huì)議。會(huì)議由國家自然科學(xué)基金委信息科學(xué)部常務(wù)副主任秦玉文主持。 

　　國家重大科研儀器研制項(xiàng)目“二維電子材料及納米量子器件的研究和原位分析儀器”由中科院微電子所牽頭，北京大學(xué)、中山大學(xué)、復(fù)旦大學(xué)、浙江大學(xué)、中科院半導(dǎo)體所聯(lián)合承擔(dān)。

　　劉新宇副所長代表所領(lǐng)導(dǎo)班子對(duì)與會(huì)領(lǐng)導(dǎo)和專家表示熱烈歡迎。微電子所八室主任夏洋等項(xiàng)目及課題負(fù)責(zé)人從二維電子材料及納米量子器件的研究和原位分析儀器，二維材料的物理性質(zhì)及納米電子器件的理論模擬，二維半導(dǎo)體與絕緣體、金屬的界面研究與原位分析，高性能、可器件化的ZnO半導(dǎo)體材料制備，石墨烯生長及原位拉曼表征平臺(tái)研發(fā)，碳基納米電子器件研究和E-PEALD/SPM/R儀器系統(tǒng)集成七個(gè)方面匯報(bào)了項(xiàng)目的進(jìn)展情況、研制內(nèi)容、研制計(jì)劃和研制難點(diǎn)。與會(huì)專家認(rèn)真聽取匯報(bào)，建議項(xiàng)目組在做好科研工作的同時(shí)，要注重技術(shù)轉(zhuǎn)移轉(zhuǎn)化，提升產(chǎn)品的實(shí)用性，并針對(duì)項(xiàng)目可能存在的困難和問題提出了寶貴的意見和建議。 

　　會(huì)后，與會(huì)領(lǐng)導(dǎo)、專家在劉新宇、夏洋的陪同下實(shí)地參觀了微電子設(shè)備工藝研發(fā)實(shí)驗(yàn)平臺(tái)和凈化工藝線。

會(huì)議現(xiàn)場

參觀微電子設(shè)備工藝研發(fā)實(shí)驗(yàn)平臺(tái)

與會(huì)人員合影