近日，微電子所與是德科技有限公司合作搭建了110GHz on-wafer 片上測(cè)試系統(tǒng)。該系統(tǒng)是目前業(yè)界芯片測(cè)試領(lǐng)域頻率最高的裸片測(cè)試平臺(tái)，代表了國(guó)內(nèi)科研院所在集成電路設(shè)計(jì)及加工領(lǐng)域的最先進(jìn)水平。 

　　片上測(cè)試需要器件S參數(shù)及直流I/V、C/V特性曲線(xiàn)這兩項(xiàng)主要技術(shù)參數(shù)。在測(cè)試中，該系統(tǒng)具有較為突出的優(yōu)勢(shì)：PNA-X可全頻段掃描從10MHz直到110GHz，且具有單次連接、多種參數(shù)同時(shí)測(cè)量的強(qiáng)大功能，極適用于on-wafer測(cè)試配合探針臺(tái)使用；B1500A半導(dǎo)體器件分析儀是一款具有10插槽配置的模塊化儀器，支持全功能I/V、C/V曲線(xiàn)表征及快速高電壓脈沖和快速脈沖測(cè)量；該系統(tǒng)還擁有專(zhuān)用于芯片測(cè)試的EDA軟件IC-CAP，此軟件可控制PNA-X、B1500A和探針臺(tái)協(xié)同工作、自動(dòng)測(cè)量。 

　　隨著微波電路的工作頻率不斷升高，芯片的工作頻率逐漸提升到毫米波波段。微電子所自2008年開(kāi)始W波段器件的研究，如今已成功采用InP技術(shù)設(shè)計(jì)加工完成多款W波段芯片。 

　　是德科技有限公司是全球電子測(cè)量技術(shù)和市場(chǎng)的領(lǐng)導(dǎo)者，該公司所生產(chǎn)的電子測(cè)量?jī)x器、系統(tǒng)和相關(guān)軟件，以及軟件設(shè)計(jì)工具和服務(wù)，可廣泛應(yīng)用于電子設(shè)備的設(shè)計(jì)、研發(fā)、制造、安裝、部署和運(yùn)營(yíng)。

110GHz on-wafer片上測(cè)試系統(tǒng)