12月13—14日，國家科技重大專項02專項實施管理辦公室組織專家對“22納米關鍵工藝技術先導研究與平臺建設”項目進行了現場驗收。該項目由國家科技重大專項02專項集成電路先導工藝研發中心承擔，成員包括中科院微電子所、中科院上海微系統所、清華大學、北京大學、復旦大學等單位。
項目研究團隊首次在國內針對集成電路先導工藝技術組織產學研聯盟并開展聯合攻關，經過五年的努力，完成了任務合同書的全部考核指標和研究內容，在高K/金屬柵、新器件結構、溝道工程、源漏工程和互連等若干關鍵技術及工藝模塊上取得了一系列具有自主知識產權的重大技術創新成果：第一，實現了我國集成電路先導技術研發從90納米到22納米技術代的跨越，研究水平邁入世界先進主流；第二，提出了“專利指導下的研發戰略”，面向22-14納米技術代形成了較為系統的知識產權布局，共完成專利申請1656項，其中美國專利申請501項；第三，實現了部分專利成果向國內大型集成電路制造企業的許可轉讓（共計1221項），現已進入產業化開發階段；第四，建立了面向22納米及以下技術代的先導技術研發公共平臺和產學研聯合攻關組織平臺，有效地為相關企業、科研院所及高校提供了開放服務，已逐漸成為產學研開放合作基地；第五，引進海外學術帶頭人21人，形成了一支國際化的高水平研發隊伍。
驗收專家組由產學研用各領域知名專家組成。驗收會上，專家組認真聽取了各項目（課題）負責人關于項目（課題）完成情況的匯報、用戶代表中芯國際集成電路制造有限公司對項目成果驗證情況的報告和中科院監理部對項目監理情況的報告，審閱了驗收材料。經過充分討論、質詢和評議，專家組對項目取得的研究成果給予高度評價，認為該項目的研究成果，為22-14納米技術代工業化二次開發積累了關鍵核心技術，為后續16納米及以下技術代（包括10納米、7納米等）的基礎技術研發奠定了堅實基礎，一致同意該項目通過驗收。
該項目的實施，顯著提升了我國在集成電路制造工藝方面的當前及后續研發能力，為我國集成電路產業的自主創新和可持續發展奠定了堅實的基礎。
驗收會現場
科研工作