6月24日，中國科學(xué)院微電子研究所承擔(dān)的重大專項納米制造相關(guān)課題在四川綿陽順利通過驗收。

　　課題行政負(fù)責(zé)人、科技處熊偉副處長，財務(wù)處陳音處長、技術(shù)負(fù)責(zé)人謝常青研究員、課題負(fù)責(zé)人朱效立博士參加了此次驗收工作。課題驗收分別由技術(shù)驗收組、檔案驗收組和財務(wù)驗收組按照重大專項驗收要求分別審查，總驗收分?jǐn)?shù)取三個驗收項的最低值，若有一項不合格，驗收即為不合格。朱效立博士對項目進(jìn)行了認(rèn)真地匯報和答辯。經(jīng)過仔細(xì)質(zhì)詢和認(rèn)真討論，最終專家組以不記名投票的形式一致給予了該課題全優(yōu)分?jǐn)?shù)通過，成為了少數(shù)幾個一致通過驗收的課題之一。

　　微電子所是國內(nèi)最早開展亞微米微細(xì)加工技術(shù)研究的單位，在深亞微米微細(xì)加工技術(shù)及微光刻技術(shù)方面一直保持國內(nèi)領(lǐng)先地位和自主創(chuàng)新的特色。三十年前，陳夢真、陳寶欽等老一輩科學(xué)家積累了光學(xué)元件研究所必需的工作基礎(chǔ)，之后經(jīng)過葉甜春研究員等人的不懈努力，解決了一些長期發(fā)展和應(yīng)用的技術(shù)難題，研究工作取得極大進(jìn)展。近年來，研究所積極面向國家重大工程需求，建立了由朱效立博士等人組成的第三代光學(xué)元件研究團(tuán)隊，順利向多項國家重大工程提供優(yōu)質(zhì)的關(guān)鍵元器件，取得了完全自主知識產(chǎn)權(quán)。三十年的努力為光學(xué)元件的研制打下了雄厚的技術(shù)基礎(chǔ)，打造了一支團(tuán)結(jié)創(chuàng)新的團(tuán)隊。

　　課題年度工作圓滿完成，得益于我所職能部門和研究室創(chuàng)新文化建設(shè)不斷取得進(jìn)展。科技處熊偉副處長從課題立項、進(jìn)度節(jié)點(diǎn)、用戶溝通、驗收總結(jié)等方面全力介入課題工作，陳音處長不僅從課題經(jīng)費(fèi)預(yù)算方面給予具體指導(dǎo)意見，還親自制作課題決算報告，檔案和資產(chǎn)部門對課題檔案、設(shè)備購買均予以大力支持。三室主任劉明研究員對課題工作予以高度重視，多次親自就相關(guān)技術(shù)予以指導(dǎo)。電子束光刻課題組陳寶欽研究員、牛潔斌工程師等同志為此課題的完成更是忘我工作和不懈努力。

　　課題工作還得到了國家同步輻射實(shí)驗室和北京正負(fù)電子對撞機(jī)國家實(shí)驗室的大力技術(shù)支持。