10月25日，微電子所團(tuán)委、青促會(huì)聯(lián)合舉辦了微電子所“崗位大練兵暨第二屆青年技術(shù)能手大賽”系列活動(dòng)學(xué)術(shù)報(bào)告會(huì)，邀請微電子所微電子設(shè)備技術(shù)研究室主任夏洋研究員作《集成電路制造設(shè)備》學(xué)術(shù)報(bào)告，100余名青年職工及學(xué)生參加了報(bào)告會(huì)。報(bào)告會(huì)由所團(tuán)委書記武錦主持。 

　　夏洋研究員在報(bào)告中由淺入深、由表及里地介紹了我國集成電路制造設(shè)備研究的進(jìn)展及特點(diǎn)，并對32nm以下集成電路新原理裝備研究（曝光、刻蝕、薄膜生長、清洗等技術(shù)）和科研裝備的產(chǎn)業(yè)化等問題進(jìn)行了分析。報(bào)告不僅從專業(yè)角度對各種集成電路制造設(shè)備的工作原理予以詳解，同時(shí)還貫穿以生動(dòng)的例子講述如何在科研中培養(yǎng)創(chuàng)新能力、思路等問題，使在座青年職工和學(xué)生都受益匪淺，從中獲得了科研創(chuàng)新的新靈感。 

　　此次報(bào)告會(huì)是微電子“崗位大練兵暨第二屆青年技術(shù)能手大賽”系列活動(dòng)之一，所團(tuán)委還將圍繞技術(shù)能手大賽活動(dòng)舉辦相關(guān)培訓(xùn)和講座，給予廣大青年職工、學(xué)生在科研工作和學(xué)習(xí)上的幫助。 

　　夏洋研究員作報(bào)告 

　　報(bào)告會(huì)現(xiàn)場