憶吳德馨老師
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我是1997年來到微電子所的(當(dāng)時(shí)的單位名稱還是“中國(guó)科學(xué)院微電子中心”)，進(jìn)入到吳老師的新型器件組。當(dāng)時(shí)的辦公室是在凈化樓(現(xiàn)在的“王守武樓”)三樓。
面試的時(shí)候是在吳老師的辦公室。第一次見吳老師，給我的印象是：這位女領(lǐng)導(dǎo)好精干！辦公室干凈整潔，窗明幾凈，辦公桌一塵不染！但是交談起來，給我的感覺是和藹可親。吳老師給我介紹了新型器件組的主要研究方向，也介紹了微電子所之前取得的一些成果。吳老師也詢問了一些我的情況。經(jīng)過了時(shí)間不長(zhǎng)的面試，我就做了我的人生中一個(gè)重要的決定：進(jìn)入微電子中心，加入?yún)抢蠋煹男滦推骷M！其實(shí)，我當(dāng)時(shí)本來已經(jīng)決定了去一個(gè)科研儀器公司，是來向微電子中心人事處的老師告辭的。但是人事處的宋燕杰老師說，吳老師看了我的簡(jiǎn)歷，想和我聊聊，所以才有了這個(gè)面試環(huán)節(jié)。我想，是吳老師強(qiáng)大的人格魅力感染了我，讓我馬上就做出了留下來的決定！
吳老師在工作中非常認(rèn)真，經(jīng)常親自到實(shí)驗(yàn)室查看實(shí)驗(yàn)結(jié)果，并詢問實(shí)驗(yàn)細(xì)節(jié)，給出實(shí)驗(yàn)建議。當(dāng)時(shí)的實(shí)驗(yàn)條件比較簡(jiǎn)陋，吳老師帶領(lǐng)大家，自己完善實(shí)驗(yàn)環(huán)境。記得當(dāng)時(shí)另外一個(gè)部門有一臺(tái)干法刻蝕機(jī)到了報(bào)廢狀態(tài)，質(zhì)量流量計(jì)等部件都已經(jīng)失效。吳老師知道后說這個(gè)設(shè)備維修一下我們組還可以使用，然后親自聯(lián)系了維修質(zhì)量流量計(jì)的師傅，進(jìn)行了維修，并修復(fù)了其它部件，最終讓這臺(tái)設(shè)備重新運(yùn)行了起來。還有一臺(tái)熱阻蒸發(fā)臺(tái)也是這種情況，當(dāng)時(shí)是吳老師帶領(lǐng)我們從另外一個(gè)實(shí)驗(yàn)室的角落，翻出了這臺(tái)設(shè)備，經(jīng)過整修，也讓這臺(tái)設(shè)備能夠繼續(xù)為我們的實(shí)驗(yàn)發(fā)揮余熱(上世紀(jì)九十年代)。
吳老師對(duì)于國(guó)家的設(shè)備資產(chǎn)相當(dāng)愛護(hù)，當(dāng)時(shí)課題組采購了一套HP的小信號(hào)測(cè)試系統(tǒng)(8510C)，設(shè)備比較昂貴，為了保護(hù)這個(gè)“珍貴”的儀器，吳老師就把這臺(tái)儀器放在自己的辦公室，占用了好大的辦公區(qū)域。
吳老師在科研工作中非常有創(chuàng)新精神，并且鼓勵(lì)學(xué)生開拓思維，敢于探索。當(dāng)時(shí)的電子束直寫技術(shù)在半導(dǎo)體器件工藝中屬于“貴族”工藝，吳老師就讓大家思考怎樣才能在工藝當(dāng)中實(shí)現(xiàn)電子束直寫工藝的高效使用，最后開發(fā)出了混合光刻技術(shù)，提高了整體工藝效率。
吳老師對(duì)待國(guó)家交給我們的研究任務(wù)一絲不茍，做課題研究非常嚴(yán)謹(jǐn)。當(dāng)時(shí)做“九五”課題時(shí)，除了提前完成了項(xiàng)目中要求研究的HEMT器件結(jié)構(gòu)之外，還研究了項(xiàng)目中沒有要求的PHEMT器件。當(dāng)時(shí)吳老師說:“既然我們提前完成了任務(wù)，我們就多做一些吧！”
吳老師經(jīng)常教育我們對(duì)待工作要認(rèn)真，給我印象最深的是有一次她和大家一起談心，聊起當(dāng)初那段特殊的時(shí)期，吳老師說：當(dāng)年讓我去打掃廁所，我想掃廁所就掃廁所，但是即使是讓我去打掃廁所，我也要比別人打掃得都干凈！！
“退休”后，本來以為吳老師可以歇一歇了，過一下普通人的悠閑生活，誰想到，她又在七十多歲的高齡，又一頭扎進(jìn)VCSEL激光器領(lǐng)域，創(chuàng)立了一個(gè)科研小組，并取得了令人矚目的成績(jī)！
吳老師非常關(guān)心年輕人的生活，她“退休”后，我們?nèi)タ赐偸锹裨刮覀儭霸趺从仲I東西，你們的負(fù)擔(dān)都很重，為什么還要為我花錢！我這里什么都不缺，你們來看我，我就已經(jīng)很高興了！”(寫到這里，我已經(jīng)滿眼淚水……)和我們聊天時(shí)，總是不忘詢問工作情況，單位的情況，課題的進(jìn)展情況，個(gè)人家庭情況。每當(dāng)聽到我們個(gè)人取得的成績(jī)、研究的進(jìn)展的時(shí)候，她高興的就像個(gè)孩子，臉上是燦爛的、慈祥的笑容。
還有很多事情，讓我不斷想起那位面帶溫暖笑容，鼓勵(lì)著我們，關(guān)心著我們，慈祥的長(zhǎng)者、人生的導(dǎo)師……
老師已去，給我們留下了寶貴的精神財(cái)富，讓我們受益終生！
吳老師千古！
“投身半導(dǎo)體六十載，桃李天下，累累碩果，一心做科研；
??????心系微電子大半生，德技雙馨，拳拳之心，無私獻(xiàn)祖國(guó)！”
——獻(xiàn)給敬愛的吳老師！
鄭英奎
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