懷念恩師吳德馨先生
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2026年3月23日，恩師吳德馨院士永遠(yuǎn)的離開(kāi)了我們。她的離去，讓我悲痛萬(wàn)分，但她的精神如指路明燈，永遠(yuǎn)鐫刻在我心中，激勵(lì)著我砥礪前行。
吳老師平易近人的人格魅力感動(dòng)了我，追隨她投身國(guó)家的微電子事業(yè)。1997年10月，我在771所研究SOI BiCMOS 器件技術(shù)。彼時(shí)，微電子所擁有國(guó)內(nèi)獨(dú)一無(wú)二的快速退火爐，是攻克雙極器件多晶硅發(fā)射極退火推進(jìn)工藝的關(guān)鍵，懷揣著對(duì)技術(shù)突破的渴望，我毅然奔赴北京尋求合作。在微電子所主樓一樓會(huì)議室，我向一室的海潮和老師、陳煥章老師匯報(bào)工作、闡述合作訴求，現(xiàn)場(chǎng)討論熱烈而專(zhuān)注。就在這時(shí)，一位身著得體、氣質(zhì)溫婉優(yōu)雅的女研究員輕輕走進(jìn)來(lái)，靜靜坐在會(huì)議桌角落，全程認(rèn)真聆聽(tīng)。當(dāng)談及長(zhǎng)期困擾我的技術(shù)難題——淺推進(jìn)重?fù)诫s導(dǎo)致仿真與實(shí)驗(yàn)不符、器件增益不足時(shí)，她提出：采用多晶硅發(fā)射極原位摻雜，或許能從根本上解決問(wèn)題。年輕氣盛的我當(dāng)即反駁，直言國(guó)內(nèi)尚無(wú)原位多晶硅的實(shí)現(xiàn)條件。可吳老師只是溫和一笑，目光堅(jiān)定又從容：“我們可以自研或者改造工藝設(shè)備，一起試著攻克它！”那一刻，她淵博深厚的學(xué)識(shí)、從容自信的氣度，瞬間折服了年少自負(fù)的我。會(huì)后，海潮和老師笑著拍我的肩膀：“小伙子不錯(cuò)，敢和吳院士直面探討科學(xué)問(wèn)題！”這次相遇，吳老師和藹可親、平易近人的模樣，如一束光，堅(jiān)定了我報(bào)考微電子所、追隨她攻讀博士、為國(guó)家微電子事業(yè)拼搏的決心。
吳老師敢于信任年輕人，支持他們攻堅(jiān)克難。1998年3月，我如愿成為吳老師的首位博士研究生。她緊扣國(guó)家任務(wù)需求，結(jié)合我的專(zhuān)業(yè)特長(zhǎng)，安排我牽頭抗輻照 SOI 64K SRAM 技術(shù)攻關(guān)，這是一項(xiàng)涵蓋工藝、器件、機(jī)理、電路全鏈條的自主研發(fā)任務(wù)，工作量巨大，更需多團(tuán)隊(duì)協(xié)同攻堅(jiān)。她悉心為我搭建協(xié)作平臺(tái)，安排我到第一研究室開(kāi)展工藝開(kāi)發(fā)，協(xié)調(diào)課題組劉宏民、鄭英奎和二室葉青副研究員協(xié)同電路設(shè)計(jì)，特邀半導(dǎo)體所劉忠立研究員指導(dǎo)抗輻照工藝實(shí)驗(yàn)。盡管吳老師事務(wù)繁重、日夜操勞，卻始終全程參與每次組會(huì)，對(duì)我的研究細(xì)致指導(dǎo)、耐心解惑。側(cè)墻刻蝕控制、硼磷硅二次布線、ESD 結(jié)構(gòu)優(yōu)化…… 每一個(gè)關(guān)鍵環(huán)節(jié)，都傾注著她的心血與指引。在她的全力支持下，我們歷經(jīng)兩年協(xié)同奮戰(zhàn)，成功突破 0.8- 1.2um 部分耗盡 SOI CMOS 工藝，研制出 SOI SRAM 樣片，每一步突破，都離不開(kāi)她的領(lǐng)航托舉。
吳老師嚴(yán)謹(jǐn)治學(xué)的風(fēng)范，是我科研路上永不褪色的標(biāo)桿。在我讀博士期間，每當(dāng)研究遭遇挫折、陷入困境，她從不苛責(zé)，總是循循善誘、鼓勁加油，幫我撥開(kāi)迷霧、重拾信心；撰寫(xiě)學(xué)術(shù)文章時(shí)，她逐字逐句推敲修改，嚴(yán)謹(jǐn)?shù)椒趾粒徊┦空撐膶忛嗠A段，她敏銳指出我在部分耗盡效應(yīng)機(jī)理、器件模型研究上的不足，叮囑我再深耕打磨。起初，我滿(mǎn)心困惑與抵觸，論文的工作量與研究水平早已達(dá)標(biāo)畢業(yè)要求，何必再苛求？吳老師看穿了我的心思，語(yǔ)重心長(zhǎng)地開(kāi)導(dǎo)：“科研的核心是體系的完整，博士的價(jià)值，在于機(jī)理機(jī)制上的突破，唯有如此，才能練就真正屬于自己的科研能力。” 這番教誨，如醍醐灌頂，讓我終身受益。
吳老師心中始終裝著國(guó)家需求與研究所發(fā)展。當(dāng)年她敏銳洞察到化合物半導(dǎo)體器件與集成電路對(duì)國(guó)家戰(zhàn)略的重要意義，多次向國(guó)家建言，推動(dòng)我國(guó)化合物半導(dǎo)體科學(xué)研究與產(chǎn)業(yè)發(fā)展。在中國(guó)科學(xué)院的支持下，她牽頭開(kāi)辟微電子所化合物半導(dǎo)體器件與集成電路研究方向，為微電子所四室的成立筑牢根基，使微電子所成為國(guó)內(nèi)最早開(kāi)展化合物半導(dǎo)體集成技術(shù)研究的科研機(jī)構(gòu)之一。當(dāng)前我國(guó)GaN、SiC等化合物半導(dǎo)體集成電路相關(guān)產(chǎn)業(yè)的蓬勃發(fā)展,沒(méi)有被國(guó)外卡脖子，也驗(yàn)證了她當(dāng)時(shí)的遠(yuǎn)見(jiàn)卓識(shí)。
對(duì)青年后輩的科研和生活，她都傾盡心力、關(guān)懷備至。科研路上，她為我們指明方向；項(xiàng)目申報(bào)，她悉心指導(dǎo)、傾囊相授；即便退休，她始終默默為所里青年科研人員在科研和生活中排憂(yōu)解難；可對(duì)自己，卻從不麻煩他人，凡事親力親為、獨(dú)立擔(dān)當(dāng)。
她退休后，我常去探望恩師，每次相見(jiàn)，她不說(shuō)自身瑣事，句句都關(guān)切著所里的發(fā)展：有那些最新的科研進(jìn)展、有哪些重大成果突破、又申請(qǐng)了什么重大項(xiàng)目等等。吳先生臨終還特意囑托兒子“不要麻煩所里，希望微電子所越來(lái)越好。”那份對(duì)研究所的殷殷牽掛、拳拳初心，深深烙印在每一句話(huà)語(yǔ)里。
吳老師走了，但她的音容笑貌仿佛仍在眼前，她的囑托和她的期盼還在心里回蕩。我們深切緬懷吳老師，緬懷她為我國(guó)微電子事業(yè)鞠躬盡瘁、不懈奮斗的光輝一生。她用一生踐行初心，詮釋了科學(xué)家的堅(jiān)守與科研導(dǎo)師的真諦，教會(huì)我們做人的品格、做事的擔(dān)當(dāng)。在她的引領(lǐng)下，我們帶著她的期盼和囑托，勇于扛起使命和擔(dān)當(dāng)，為國(guó)家發(fā)展、民族復(fù)興的中國(guó)夢(mèng)，為國(guó)家的微電子事業(yè)，傾盡畢生力量！
恩師西去，精神永存！
您的學(xué)生：劉新宇
2026年3月26日
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