l?? 作品名稱(chēng)：路漫漫

l?? 作者信息：設(shè)備中心-李楠

l?? 圖片描述：本作品顯示的是，超高真空環(huán)境下傳輸車(chē)運(yùn)送樣品到不同的工藝或檢測(cè)腔室進(jìn)行科學(xué)研究。小車(chē)在不同功能的腔體間傳送，就像經(jīng)過(guò)四通八達(dá)的交通路口。代表盡管科學(xué)研究的路不好走，但總有一個(gè)方向會(huì)抵達(dá)目的地，我們一直以及將來(lái)都要在這條道路上勇于創(chuàng)新，不斷探索，尋求科學(xué)的真理。

l?? 儀器名稱(chēng)型號(hào)：E-PEALD/SPM/R-100（國(guó)家重大科研儀器研制項(xiàng)目，自行研制儀器）

l?? 拍攝設(shè)備：華為手機(jī)

l?? 獲評(píng)中國(guó)科學(xué)院2022年度“發(fā)現(xiàn)科學(xué)之美”大賽優(yōu)秀獎(jiǎng)、中國(guó)科學(xué)院微電子研究所2022年度“發(fā)現(xiàn)科學(xué)之美”大賽三等獎(jiǎng)