l? 作品名稱(chēng)：神奇時(shí)刻

l? 圖片描述：本作品展示的是光刻膠對(duì)曝光反應(yīng)的狀態(tài)圖：極紫外光將掩模版上的圖形信息經(jīng)過(guò)復(fù)雜光學(xué)系統(tǒng)后投影到光刻膠上，激發(fā)神奇的化學(xué)反應(yīng)，產(chǎn)生可溶于顯影液的圖形（圖中紫紅色部分），從而實(shí)現(xiàn)圖形轉(zhuǎn)移，這是集成電路制造中最重要的光刻工藝之一。

l? 取樣儀器名稱(chēng)型號(hào)：Canon EOS 500D

l? 圖片處理軟件名稱(chēng)：Solidworks2018、 Keyshot9.0、Adobe Photoshop 2021

l? 獲評(píng)中國(guó)科學(xué)院2022年度“發(fā)現(xiàn)科學(xué)之美”大賽三等獎(jiǎng)、中國(guó)科學(xué)院微電子研究所2022年度“發(fā)現(xiàn)科學(xué)之美”大賽二等獎(jiǎng)