作者信息：重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室  陳寶欽

圖片描述：本作品顯示的是在電子束光刻實(shí)驗(yàn)中，電鏡下偶然發(fā)現(xiàn)的一尾精美的活生生的“納米魚(yú)”。放大后，可以發(fā)現(xiàn)其每一片魚(yú)鱗是由四個(gè)光刻膠納米柱搭成的“溝火堆”（見(jiàn)附圖a）。附圖中幾張精典的電鏡照片可以進(jìn)一步看到在電子束曝光顯影后清洗干燥過(guò)程中經(jīng)常遇到的一種現(xiàn)象：高高寬比納米結(jié)構(gòu)圖形粘連坍塌現(xiàn)象。這些照片為深入開(kāi)展電子束光刻工藝技術(shù)研究提供許多非常有用的信息。在圖d和e中顯示，在理想的電子束光刻工藝中可以獲得漂亮的20納米點(diǎn)陣，并能找到完美的5納米光刻膠格柵結(jié)構(gòu)。從事工藝技術(shù)研究，樂(lè)在其中！ 

電子束光刻實(shí)驗(yàn)方法：首先在硅片上旋涂HSQ電子抗蝕劑；前烘；電子束曝光；后烘；CD26顯影；去離子水清洗；干燥；光學(xué)顯微鏡觀察；掃描電子顯微鏡檢測(cè)等工序。 

電子束光刻設(shè)備型號(hào)： 日本電子 JBX 5000 LS；日本電子 JBX 6300 FS 

掃描電子顯微鏡型號(hào)： 日立S- 4800