作者信息：中國科學(xué)院微電子研究所-超薄之美-郜晨希- 15652369004 

圖片描述：本作品顯示的是半導(dǎo)體設(shè)備中最常用的零配件—薄膜式電容真空計爆炸渲染圖。薄膜式電容真空計是國外封鎖中國的產(chǎn)品，直徑影響國內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備的發(fā)展。圖片為我們國內(nèi)自主研發(fā)的真空計，其需要15um厚的超薄超硬低膨脹合金膜片作為核心敏感元件，并配備不同厚度的超薄導(dǎo)氣墊圈，密封在高達(dá)的真空環(huán)境中并保壓10年以上。從材料研制到超薄金屬微加工，再到封裝，其難度就如同圖中層層墊圈一樣，每一圈都是一個腳印，一步一步突破封鎖。 

圖片處理軟件名稱：Solidworks、Keyshot