作者信息：硅器件中心  孫澎

圖片描述：本作品為拍晶圓橫截面所形成的圖片，VDMOS器件性能好壞，很大程度上取決于它的微觀結(jié)構(gòu)，通過掃描電子顯微鏡看到其橫斷面微觀結(jié)構(gòu)，包括垂直幾何結(jié)構(gòu)、雙擴散工藝、多晶硅柵結(jié)構(gòu)、單胞由結(jié)構(gòu)等。 

成像設(shè)備：臺式電子掃描顯微鏡 

圖像處理軟件：JCM-6000