作者信息：先導(dǎo)中心  張青竹 

圖片描述：本作品顯示的是硅納米線橫切面，可以清晰地看到高晶格質(zhì)量且直徑小于10nm的“心形”硅納米線。初入眼簾，我們可以看到這副圖的形貌非常神似《泰坦尼克號(hào)》劇中，Rose身上所佩戴的“海洋之心”！每次看到此圖，都提醒我們科學(xué)之路就是一場心路旅程，我們每個(gè)人都應(yīng)該有一顆屬于自己的“海洋之心”。正是這顆“心”，在時(shí)刻的提醒著我們，要勿忘初心，要踏踏實(shí)實(shí)的去做科研，不要被外界所影響，只有這樣我們的科研之路才可方得始終！ 

實(shí)驗(yàn)方法：使用納米尺寸側(cè)墻硬掩膜，通過時(shí)分復(fù)用刻蝕和氧化的方法形成納米線。其他工藝和主流FinFET制作類似的制造技術(shù)。然后通過FIB制樣技術(shù)，截取納米線線的橫切面。 

取樣儀器名稱型號(hào)： FEI Helios和FEI Talos F200X通過過FIB制樣技術(shù)，截取納米線線的橫切面，并通過透射電子顯微鏡觀察和分析元素分布。