作者信息：先導中心  韓江浩

圖片描述：本作品顯示的是國家重大專項“極大規模集成電路制造裝備及成套工藝子課題：工藝整合及集成技術”中30納米柵刻蝕后通過手工制樣到掃描電鏡測試后確定的剖面形貌，（圖一為手工制樣，圖二為掃描電鏡的剖面圖片）。從制樣到樣品觀測，每一步工作都要一絲不茍。這也是先導工藝平臺的工程師經過上千次的實驗最終獲得的30納米柵的陡直形貌。即使只是一個螺絲釘，我們大家依然立足本職，精益求精，最終不辱使命，共同完成了國家交給我們的任務。

實驗方法：圖一是刻蝕后通過手工制樣（沒有FIB制樣設備，全部是手工切片），樣品大小為：長10mm,高5mm,切出新鮮的剖面，通過掃描電子顯微鏡觀測圖二所示的陡直度、掩膜厚度等剖面形貌，為下一步實驗優化提供重要依據。

取樣儀器名稱型號：Hitachi S5500掃描電子顯微鏡